全光信號處理技術(shù)由于可以克服光-電-光轉(zhuǎn)換過程帶來的速率限制，可極大地提高光網(wǎng)絡(luò)節(jié)點處信息處理速度，在超高速光通信和高性能光計算等應(yīng)用中顯示出巨大潛力。光學(xué)非線性是全光信號處理中不可或缺的關(guān)鍵效應(yīng)，也是光通信、量子光學(xué)等現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)的重要研究基礎(chǔ)之一。因此，如何增強器件的光學(xué)非線性特性成為光子集成、光通信、光信號處理等領(lǐng)域的重要研究內(nèi)容。在眾多非線性器件中，硅基光子集成器件由于具有高集成度、低功耗以及與CMOS工藝相兼容等優(yōu)勢而備受關(guān)注，是打破電子技術(shù)瓶頸的極具前景的平臺方案。
近日，深圳大學(xué)物理與光電工程學(xué)院徐平教授團隊與武漢光電國家研究中心張新亮教授團隊合作，在硅基非線性光學(xué)器件領(lǐng)域取得重要研究進展，在《Photonics Research》(IF: 7.08, 中科院Top 1區(qū)，10(1), pp. 50-58 (2022)) 發(fā)表了題為“Enhanced optical nonlinearity in a silicon–organic hybrid slot waveguide for all-optical signal processing”的研究論文。該論文提出了一種高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)（SOHSW），當(dāng)狹縫波導(dǎo)的波導(dǎo)（高折射率材料）與狹縫（低折射率材料）折射率差較大，且狹縫尺寸較小時，界面處的電場不連續(xù)從而產(chǎn)生突變，狹縫區(qū)發(fā)生電場疊加，使得光場得到有效增強。同時，將狹縫中填充高非線性聚合物MEH-PPV（Nonlinear indexn2=8.5±0.4×10?17m2∕W），進一步增強器件的非線性特性。器件結(jié)構(gòu)如圖1(a)所示。普通的硅基非線性器件會受到硅本身產(chǎn)生的雙光子吸收效應(yīng)（TPA）和由此產(chǎn)生的自由載流子吸收效應(yīng)（FCA）的影響，從而導(dǎo)致非線性過程轉(zhuǎn)換效率降低。而本文中，如圖1(b)和1(c)所示，高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)主要將光場能量限制在狹縫中傳播，大大降低了TPA和FCA的影響，且狹縫越窄，對光場的限制能力越強。
圖1 高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)結(jié)構(gòu)示意圖及非線性系數(shù)仿真
器件的工藝流程及SEM圖如圖2所示。最終制備的器件狹縫寬度為45nm，狹縫深度218nm，硅波導(dǎo)寬度為350nm，MEH-PPV厚度250nm。
圖2 高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)制備流程及電鏡圖
該工作比較了3mm長度下，提出的高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)、未填充聚合物的狹縫波導(dǎo)以及普通條形波導(dǎo)（220nm×450nm）的非線性系數(shù)。非線性系數(shù)測試及計算通過兩束連續(xù)光的簡并四波混頻實現(xiàn)。實驗方案及測試結(jié)果如圖3所示，從結(jié)果可以看出，該工作提出的高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)的四波混頻轉(zhuǎn)換效率，相對于未填充聚合物的狹縫波導(dǎo)以及普通條形波導(dǎo)，分別提高了12dB和5dB以上。由四波混頻轉(zhuǎn)換效率計算得出，高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)的非線性系數(shù)可達(dá)1.43×1061/W/km，是未填充MEH-PPV時非線性系數(shù)的4倍，是普通條形波導(dǎo)的近6倍。
圖3 高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)四波混頻實驗及實驗結(jié)果
圖4 三種波導(dǎo)非線性系數(shù)測試比較
全光邏輯是全光信號處理中的基礎(chǔ)性技術(shù)，也是關(guān)鍵技術(shù)之一。在光網(wǎng)絡(luò)的各個層，都會涉及到與光邏輯有關(guān)的信號處理。如全光復(fù)用/解復(fù)用/分插復(fù)用、碼型轉(zhuǎn)換、波長轉(zhuǎn)換、2R再生(再整形、再定時)、全光判決、數(shù)據(jù)包交換、光標(biāo)簽、包頭提取、包頭識別、全光采樣等。此外，全光邏輯也是實現(xiàn)全光計算的重要方法。全光計算技術(shù)采用光學(xué)方法實現(xiàn)對光數(shù)據(jù)信息的運算處理，具有并行處理、高速度、大容量、空間傳輸和抗電磁干擾等優(yōu)點?；谠摳叻蔷€性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)中的四波混頻效應(yīng)，團隊實現(xiàn)了速率為40Gb/s的高速兩輸入全光標(biāo)準(zhǔn)邏輯單元運算。實驗方案如圖5所示。圖6展示的邏輯結(jié)果碼流正確、眼圖清晰張開，所有邏輯運算結(jié)果均達(dá)到無誤碼狀態(tài)。該高非線性硅基聚合物狹縫波導(dǎo)在未來超快片上全光信號處理中將具有重要的應(yīng)用前景。
圖5 40Gb /s全光標(biāo)準(zhǔn)邏輯單元實驗裝置
圖6 原始信號和邏輯運算信號的時域波形圖和眼圖
圖7邏輯運算結(jié)果誤碼率測試
深圳大學(xué)物理與光電工程學(xué)院博士后王永華為該論文的第一作者，深圳大學(xué)物理與光電工程學(xué)院雷蕾副教授、武漢光電國家研究中心董文嬋博士為論文共同通訊作者，深圳大學(xué)為第一完成單位。深圳大學(xué)碩士研究生何蘇、葉飄飄，武漢光電國家研究中心博士研究生高曉巖也共同參與了該項工作。該工作得到了國家重點研發(fā)計劃（2019YFB2203102）、國家自然科學(xué)基金（61805151，61905083）、廣東省自然科學(xué)基金（2020A1515011492）和深圳市技術(shù)攻關(guān)面上項目（JSGG20201102173200001）的支持。
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（物理與光電工程學(xué)院 供稿）
